多功能燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過(guò)燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。主要用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。
1、檢查電路和水路能否正常,如正常通電,通水。
2、翻開(kāi)機(jī)械泵,過(guò)30秒后遲緩翻開(kāi)預(yù)抽閥,1分鐘后翻開(kāi)前級(jí)閥。
3、在真空度到達(dá)10Pa以下時(shí)翻開(kāi)擴(kuò)散泵,給擴(kuò)散泵加熱。
4、擴(kuò)散泵加熱到60分鐘后,關(guān)閉預(yù)抽閥,翻開(kāi)高真空閥,真空度會(huì)逐步到達(dá)高真空。
5、加熱啟動(dòng),在200度以下請(qǐng)你選用手動(dòng)加熱,在控制面板手動(dòng)操作菜單中,留意次運(yùn)用時(shí),把撥鈕上下動(dòng)搖一次,然后撥到手動(dòng)位置,啟動(dòng)加熱,輸入50左右,肯定。電流普通控制在300A以下, 自動(dòng)加熱:在溫度控制界面設(shè)定溫控表自動(dòng)開(kāi)端加熱或開(kāi)啟手動(dòng)位用手動(dòng)開(kāi)端加熱。 以上設(shè)置闡明:從200度用時(shí)120分鐘到600度,600度時(shí)保溫30分鐘,從600度用時(shí)130分鐘到1000度,在1000度時(shí)保溫5個(gè)小時(shí),從1000度降到600度用時(shí)60分鐘,60分鐘后程序自動(dòng)中止。設(shè)定好加熱工藝后,首先中止手動(dòng)加熱,然后把撥鈕撥到自動(dòng)位置,啟動(dòng)自動(dòng)加熱程序,假如需求記載數(shù)據(jù)請(qǐng)?jiān)跀?shù)據(jù)保管見(jiàn)面打“√”。
6、在保溫狀態(tài)下,一定要堅(jiān)持循環(huán)水的正常循環(huán)。
7、保溫時(shí)間到后,關(guān)閉加熱開(kāi)關(guān),假如不需求高真空能夠關(guān)閉擴(kuò)散泵,翻開(kāi)預(yù)抽閥,關(guān)閉高真空閥,開(kāi)端降溫。留意:機(jī)械泵不要關(guān)閉。
8、在溫度降到200度時(shí)關(guān)掉機(jī)械泵,關(guān)閉一切閥門(mén)。
9、在常溫下釋放壓力,沖入空氣,將原料取出。
10、如不繼續(xù)工作,應(yīng)翻開(kāi)機(jī)械泵和預(yù)抽閥再抽5分鐘真空,關(guān)閉機(jī)械泵和預(yù)抽閥。堅(jiān)持工作室里有真空度,避免水汽侵入。
11、壓力操作:首先在手動(dòng)操作界面,報(bào)壓力形式撥到自動(dòng)位置,能夠直接用儀表操作,設(shè)定好程序后按run鍵3秒啟動(dòng),按stop鍵3秒中止。